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真空泵种类主要有有哪些?各有何特点及适用于什么场合

2020-09-28 11:07:27          
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真空泵种类的分类挺复杂的,基本可以分为气体传输泵与气体捕集泵。其中气体传输泵分为容积式真空泵与动量传输式真空泵(和鼓风机有点像)。然后容积式中又有往复泵、旋转式真空泵(这个是个大类,下面又有油封泵,旋片滑阀都是油封泵,还有液环泵、罗茨泵、螺杆泵、爪泵、涡旋泵等)。动量传输式中有分子泵、射流泵等,它们底下又有几种,像涡轮分子泵、牵引分子泵,复合分子泵,喷射泵、扩散泵。

真空泵种类

气体捕集泵主要就是吸附泵与低温泵,底下也有很多小类,像溅射离子泵、升华泵、钛泵、吸附阱、吸气剂泵、冷凝泵、制冷剂低温泵等等。


因为各种泵的原理材质问题,工作压力段不同,最简单的有些能在大气压下工作,有些就必须组成机组(像普通的罗茨泵、分子泵、扩散泵等),不然无法启动。有些能抽大量水汽,像喷射泵、液环中的水环,但油泵就很麻烦,有些能抽一定的颗粒气体,像一些干泵,但往复泵就不行。

真空泵种类

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